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矽电股份请求抬升组织、测验渠道及测验办法专利在载物台的平稳支撑下使得半导体板以设定压力满意规则的要求

时间: 2024-12-12 16:26:42 |   作者: 工程防水系列

产品描述

  金融界 2024 年 9 月 18 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司请求一项名为“抬升组织、测验渠道及测验办法“,公开号 CN7.4,请求日期为 2024 年 8 月。

  专利摘要显现,本发明归于测验设备的技术领域,公开了一种抬升组织、测验渠道及测验办法,其间抬升组织包含抬升组件、补偿组件、载物组件和操控中心,抬升组件包含转接板、多个丝杆驱动结构和多个位移传感器,补偿组件包含多个压电陶瓷,压电陶瓷可以上下弹性调理,载物组件包含载物台、装置板和多个压力传感器,操控中心可以比较多个部分抬升高度的差异,并操控对应的压电陶瓷弹性调整,以削减多个部分抬升高度之间的差异,操控中心可以核算多个部分压力的合力并将合力与基准规模比较,并操控多个压电陶瓷同步弹性,以使合力坐落基准规模内,从而,在载物台的平稳支撑下,使得半导体板以设定压力测验,满意测验要求。