金融界 2024 年 9 月 18 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司请求一项名为“抬升组织、测验渠道及测验办法“,公开号 CN7.4,请求日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显现,本发明归于测验设备的技术领域,公开了一种抬升组织、测验渠道及测验办法,其间抬升组织包含抬升组件、补偿组件、载物组件和操控中心,抬升组件包含转接板、多个丝杆驱动结构和多个位移传感器,补偿组件包含多个压电陶瓷,压电陶瓷可以上下弹性调理,载物组件包含载物台、装置板和多个压力传感器,操控中心可以比较多个部分抬升高度的差异,并操控对应的压电陶瓷弹性调整,以削减多个部分抬升高度之间的差异,操控中心可以核算多个部分压力的合力并将合力与基准规模比较,并操控多个压电陶瓷同步弹性,以使合力坐落基准规模内,从而,在载物台的平稳支撑下,使得半导体板以设定压力测验,满意测验要求。